>>>技術(shù)描述>>>

1. X軸行程:100mm；

2. Z 軸高度行程:400mm；

3. Z1軸行程:20mm；

4. 承重:80kg；

5. 精度解析度：0.1微米；

6. 可檢測(cè)最小內(nèi)孔：18毫米（最小可選配2㎜內(nèi)孔針)；

7. 輪廓尺寸參數(shù)

  a. 高度：±（1.5+|0.08H|）μm；

  b. 圓?。骸溃?.2+R/10）μm；

  c. 角度：±1′；

  d. 直線度：1.0μm/100mm；

  e. 全量程分辨率0.1微米；

  f. 測(cè)量力：10mN～30mN（可手動(dòng)調(diào)整）；

  g. H表示測(cè)量高度，R為測(cè)量半徑 以毫米為單位；

8. 傳感器

  a. 類型：數(shù)字光柵；

  b. 分辨率：0.1μm；

9. 爬坡角度：上升77度，下降87度；

10. 測(cè)量速度：0.02～20mm/s；

11. 工作環(huán)境

  a. 溫度：20℃±5℃；

  b. 溫度變化：<3℃/hr；

  c. 濕度：30～80%不可結(jié)露；

  d. 振動(dòng)：＜0.002g，＜15Hz；

  e. 電源電壓：220V±10%；

  f. 必須接地，小于10V；

  g. 頻率：50Hz；

  h. 功率：930W；