>>>技術(shù)描述>>>

1.測量范圍：

a.X方向驅(qū)動器：130mm；

b.Z1輪廓度量程：20mm；

c.Z1粗糙度量程：±1500μm；

d.Z1分辨率：0.02微米；

e.Z軸高度（立柱）：550mm；

f.可測量最小內(nèi)孔：10mm；

2.輪廓技術(shù)參數(shù)：

a.線性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

b.圓弧：±（1.2+R/12）μm；

c.角度：±1′；

d.直線度：0.5μm/100mm；

3.輪廓度技術(shù)參數(shù)：

a.線性精度：≤±5%；

b.殘值噪聲：≤0.005μm；

c.重復穩(wěn)定性：試值3%；

d.截止波長：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

e.評定長度：λcX1、2、3、4、5；

4.傳感器：

a.類型：美國；

b.分辨率：0.02μm；

c.產(chǎn)地：美國； 

5.爬坡角度：上升77度 下降88度；

6.粗糙度評定參數(shù)：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7.測量速度：0.05-20mm/s；

8.Z軸速度：0.05-20mm/s。