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杭州雅視特玖智能科技有限公司
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光譜專用氬氣凈化機(jī)
- 名稱:光譜專用氬氣凈化機(jī)
- 型號:YST3000Y
- 品牌:雅視特
- 編號:F69

>>>技術(shù)參數(shù)>>>
一、對原料氬氣要求
1. 一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣;
2. 雜質(zhì)要求:O2≤500PPm,H2O≤500PPm;
二、輸出純氣
1. 純度:99.9998%;
2. 雜質(zhì)含量:
a. O2≤0.3PPm;
b. H2O≤0.2PPm(即露點(diǎn)≤-86℃);
c. CO+CO2≤0.1PPm;
d. S、P的氧化物≤0.1PPm;
3. 塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個/升;
4. 處理氣量:4M3/h;
5. 設(shè)備尺寸:360mm×560mm×1000mm。