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光譜專用氬氣凈化機(jī)

  • 名稱:光譜專用氬氣凈化機(jī)
  • 型號:YST3000Y
  • 品牌:雅視特
  • 編號:F69

>>>技術(shù)參數(shù)>>>

一、對原料氬氣要求

1. 一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣;

2. 雜質(zhì)要求:O2≤500PPm,H2O≤500PPm;

二、輸出純氣

1. 純度:99.9998%;

2. 雜質(zhì)含量:

a. O2≤0.3PPm;

b. H2O≤0.2PPm(即露點(diǎn)≤-86℃);

c. CO+CO2≤0.1PPm;

d. S、P的氧化物≤0.1PPm;

3. 塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個/升;

4. 處理氣量:4M3/h;

5. 設(shè)備尺寸:360mm×560mm×1000mm。


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