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氬氣凈化機(jī)

  • 名稱:氬氣凈化機(jī)
  • 型號(hào):YST3000N
  • 品牌:雅視特
  • 編號(hào):F67

>>>技術(shù)描述>>>

一、對原料氬氣要求

1. 一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣;

2. 雜質(zhì)要求:O2≤500PPm,H2O≤500PPm;

二、輸出純氣

3. 純度:99.9999%;

4. 雜質(zhì)含量:O2≤0.2PPm;

5. H2O≤0.2PPm(即露點(diǎn)≤-85℃);

6. CO+CO2≤0.1PPm;

7. S、P的氧化物≤0.1PPm;

8. N2≤0.2PPm;

9. 塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升;

10. 處理氣量:4M3/h;

11. 設(shè)備尺寸:360mm×560mm×1000mm。


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