>>>技術(shù)描述>>>

1. X軸行程（mm）：100MM；

2. Z 軸高度行程：400MM；

3. Z1軸行程：20MM；

4. 承重（kg）：80；

5. 精度解析度：0.1微米；

6. 可檢測最小內(nèi)孔：18毫米（最小可選配2㎜內(nèi)孔針)；

7. 輪廓尺寸參數(shù)

  a. 高度：±（1.5+|0.08H|）μm；

  b. 圓弧：±（1.2+R/10）μm；

  c. 角度：±1′；

  d. 直線度：1.0μm/100mm；

  e. 全量程分辨率0.1微米；

  f. 測量力：10mN～30mN（可手動調(diào)整）；

  g. H表示測量高度，R為測量半徑 以毫米為單位；

8. 粗糙度技術(shù)參數(shù)

  a. 線性精度：≤±5%；

  b. 殘值噪聲：≤0.005μm；

  c. 重復(fù)穩(wěn)定性：試值3%；

  d. 截止波長：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

  e. 評定長度：λcX1、2、3、4、5、不限；

9. 傳感器

  a. 類型：數(shù)字光柵；

  b. 分辨率：0.1μm；

10. 爬坡角度：上升77度，下降87度；

11. 粗糙度評定參數(shù)：Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Rpc、Rmr；

12. 波紋度分析參數(shù)：Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr；

13. 原始輪廓分析參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta；

14. 測量速度：0.02～20mm/s；

15. 工作環(huán)境

  a. 溫度：20℃±5℃；

  b. 溫度變化：<3℃/hr；

  c. 濕度：30～80%不可結(jié)露；

  d. 振動：＜0.002g，＜15Hz；

  e. 電源電壓：220V±10%；

  f. 必須接地，小于10V；

  g. 頻率：50Hz；

  h. 功率：930W。